In der 3D- Überlagerungs -Darstellung können verschiedene Scanergebnisse einer Kammera -Inspektion über die Original Daten gestellt werden, so das eine genau Übersicht
Die sogenannten Formfaktoren ergeben sich aus den Messdaten einer Inspektion und beschreiben in welche Klasse eine Fehlersituation einsortiert wird.
Die Gerber -Dateien haben verschiedene Informationsdichten, über eine virtuelle Skalier -Linse können die Datendichte unterschiede herangezogen werden um eine Die bezogene Zusammengehörigkeit zu gewärleisten
WaferView stellt Gerber-Dateien in 3D dar. Hersteller verwenden diese Dateien, um Positionen von Pads und Kontaktinformationen auf einem Substrat oder Wafer zu beschreiben. Die Daten liegen im ASCII-Format vor und bleiben daher auch langfristig lesbar.
WaferView 3D Darstellung überlagerter Gerber -DateienGerber-Dateien können Millionen von Datenpunkten enthalten. Neben den X-/Y-Koordinaten stehen häufig weitere Angaben wie Durchmesser oder Fehlerklasse in der Z-Koordinate; sie können beispielsweise mit „D“ gekennzeichnet sein. Schnelle Parser übertragen die Daten in Vektorlisten, damit die OpenGL-Engine sie auf der Grafikhardware darstellen kann.
Die Beschreibung eines 3D-Wafers mit großen Datenmengen erfordert eine Virtualisierung, wie sie moderne Grafikkarten mit OpenGL ermöglichen. WaferView bietet eine skalierbare 2D-Draufsicht sowie eine 3D-Ansicht, in der sich die Oberfläche ähnlich wie in einem Computerspiel mit den Tasten W, A, S und D erkunden lässt.
Fehlerüberlagerungen lassen sich in der Draufsicht nach Segmenten zusammenfassen. Die Farbe eines Segments entspricht dabei der häufigsten Fehlerklasse in diesem Bereich. Die Auswertung kann als Umlaufzertifikat gedruckt werden, das die Gesamtqualität des Wafers dokumentiert.
Die Fehlerklassen können auf jedem installierten Drucker ausgegeben oder als PDF-, XPS- beziehungsweise Plotdatei gespeichert werden.
Merkmale der Waferoberfläche können in Echtzeit oder mit einer Gantry-Scanvorrichtung erfasst und im Gerber-Format gespeichert werden. So lassen sich Hersteller- und Inspektionsdaten direkt vergleichen. In WaferView können die Daten gezoomt und anhand ihrer Fehlerklassen untersucht werden.
